Жанбекова, Г. И., Казахский национальный педагогический университет имени Абая, Казахстан
-
№ 1 (2019) - ФИЗИКА, МАТЕМАТИКА, ИНФОРМАТИКА
ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 2306-5079 (Print)