Кошеров, Т. С., Казахская академия транспорта и коммуникации им М.Тынышпаева, Казахстан

• № 1 (2019) - ФИЗИКА, МАТЕМАТИКА, ИНФОРМАТИКА
  ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
  Аннотация  PDF (Rus)